干式渦旋泵，簡稱干泵，又稱渦旋式干泵、干式真空泵，能在大氣壓到10-2Pa的壓力范圍內(nèi)工作，在泵的抽氣流道(如泵腔)中，不能使用任何油類和液體、排氣口與大氣相通,能連續(xù)向大氣中排氣的泵,即稱為干式真空泵。
產(chǎn)品特點(diǎn)：
采用獨(dú)立馬達(dá)與軸承的密封設(shè)計
全無油泵，不會污染真空系統(tǒng)
低噪聲，低振動
與老式的膜片式干泵(隔膜泵)相比具有更低的極限壓強(qiáng)
無任何可能造成災(zāi)害性系統(tǒng)故障的機(jī)械部件
體積小巧
當(dāng)前位置：